高纯气体的分析 高纯气体分析的核心是对其中的规定杂质进行定性、定量测定。由于高纯气体中的限定杂质数目多, 且含量极低, 通常在 10-6～ 10-7范围, 因此对测试设备和分析人员均有较高的要求。
目前, 用于高纯气体测试的设备主要有:色谱仪、质谱仪、色- 质联用仪、光谱仪、电化学仪器、露点仪及各种专项测试仪表。经典的化学分析方法也是测定化学活性杂质的常用手段。 从事高纯气体分析的分析人员应熟悉气体分析的一般过程, 具有正确选择检测方法的能力, 并通过实践掌握高纯气体分析的特殊技能。拥有具备资格的分析人员和适宜的测试设备, 是开展高纯气体检测工作的前提。 随着半导体工业的发展, 对气体产品的质量要求越来越高, 对高纯气体分析的测试技术要求亦在不断提高。可以断言, 高纯气体测试手段及方法的研究是一项永无止境的工作。
