1.冷凝法:天然气提氦在工业上采用冷凝法,该法工艺包括天然气的预处理净化、粗氦制取及氦的精制等工序,制得99.99%的纯氦气。
2.空分法:一般采用分凝法,从空气装置中提取粗氦、氖混合气,由粗氦、氖混合气制纯氦、氖混合气,经分离及纯化,制得99.99%的纯氦气。
3.氢液化法:工业上采用氢液化法从合成氨尾气中提氦。该法工艺是低温吸附清除氮、精馏得到粗氦,加氧催化除氢及氦的纯化,制得99.99%的纯氦气。
4.高纯氦法:将99.99%的纯氦进一步用活性炭吸附纯化制得99.9999%的高纯氦气。
氦气是最主要的深圳工业气体品种之一,应用领域广泛。
在半导体工业中,高纯氦气用作生长锗和硅晶体的保护气。某些混合气的底气、清洗、屏蔽和加压系统的惰性气体;气相色谱载气;在生产象钛和锫那样的活性金属时用作保护气;电弧焊接的保护气;在原子能反应堆中作为气体的冷却介质;充氦飞船,如美国海军司令部和空军司令部正在研究用装有预警系统的飞船来探测低空飞行的导弹;美国毒品管理局在美国南部边境地区设置了6只系留雷达的小型飞艇,用于探查毒品走私的情况;美国边防巡逻站计划利用小型飞艇来探查非法人境的外国人。美国航空和航天局正在利用充氦气球来采集南极洲上空的空气样品,以研究臭氧层遭到破坏的各种原因。充填于在寒冷气候中使用的荧光灯管;充填中子和气体温度计;设备、管路等的氦质谱检漏;与氧气混台用于医疗;在航天技术上,液氦加注系统的真空管路、贮槽、槽车以及火箭贮箱中的空气必须首先用高纯氮气置换,合格后用高纯氦气置换,分析合格后用高纯氦密封;还可用作卫星和火箭的挤压气源及姿态控制发动机用气源。
液氦主要用于超导技术和磁共振成像(MRI)。超导粒子加速器要用液氦来冷却超导磁体。美国阿贡(Argonne)国家实验室正在研究用于军事和商业目的的磁流体推进系统,这种动力推进系统不使用运动部件。
MRI在医疗上的应用价值很高,日本于1995年安犍了278套超导MRI,过去单机液氦年用量约400L。超导磁体庖储存系统能储存平时过多的电力,需要时可以为高峰用电提供电力。液氦在低温技术,同步加速器和回转加速器的研究与开发中应用前景广阔。